EDA方案

1.概念

EDA（Interface-A）是 SEMI 制定的设备数据采集标准，为半导体制造设备提供高速、高容量、自描述的数据采集通道，主要解决传统 SECS/GEM（基于 SECS-II/HSMS）在高频传感器数据、大量过程数据采集时的带宽与灵活性限制。

标准编号	标准名称	核心作用
E120	Common Equipment Model (CEM)	定义通用设备模型，描述设备物理 / 逻辑组 件、数据对象、事件、警报。
E125	Equipment Self-Description	规范设备元数据的自描述机制，支持客户端 自动发现可用数据。
E132	Client Authentication & Authorization	定义客户端身份认证与权限管理，保障数据 访问安全。
E134	Data Collection Management	规范数据采集计划的定义、调度与执行，支 持订阅 / 推送模式。
E164	EDA Common Metadata	统一元数据格式与语义，确保跨设备 / 客户 端的兼容性。

2.实际运用

背景：

检测设备。客户提供给国内长江存储黄光区的设备，设备采用C# API来实现GEM300功能。

方案：

检测涂胶显影后的设备，设备使用2个load port，通过SECS/GEM上报给工厂，检测圆盘图则通过

网络共享方式给到FDC存储。通过客户的机台资料及功能要求，金南瓜工程师配合配置，提供接口，

使客户可方便地处理SECS消息和执行GEM操作，实现E40、E87、E90、E94及AMHS自动化上下料。

后续：

经过1年的Autorun验证，设备已经获得验收，金南瓜SECS/GEM提供高效、精确、稳定的通讯，得

到客户的信任与认可，只需2次就完成EAP测试验证。

半导体设备供应商实施 Interface – A 以导出数据到工厂数据收集应用程序。