GEM300
概念:GEM300建立在SECS/GEM标准之上,GEM300是定义通用设备模型的一组标准的通称,通用设备模型是用于300mm晶圆半导体生产线中自动化制造设备的软件的标准规范。
我们提供简易、快速的半导体 SECS/GEM300服务支持。且有两种方案的选择,分别为PLCSECS软件和SDK开发的形式。
金南瓜SECS/GEM300支持协议E40、E87、E90、E94、E116,但我们不仅限于这些标准。
- 金南瓜SECS/GEM300产品稳定易用,用户无需关心Job的处理以及相关的300mm标准知识。
- 金南瓜拥有成熟的SECS/GEM300实施经验,为多个设备厂商提供设备支持GEM300,并且稳定运行于国内多个FAB厂。
- 我们的客户设备涵盖湿法、退火、气体沉淀、离子注入等设备,满足APC、FDC和EAP的高性能要求,并且运行稳定。
- 设备无缝对接EAP系统,从OHT天车放料到生产过程中,顺畅自然。在交互过程中,明显有别于国内其他厂商的SECS/GEM产品,我们以毫秒级交互别为目标,并非友商能用就行的实施态度。
- 满足FDC的高指标要求,大数据分析设备生产过程中的任何状态,包含大量的传感器,数千的传感器实时监控设备各项内容。通过大量的传感器反馈机制,设备快速的微调各项参数而保证持久稳定。
- FDC对于SDK的性能和稳定性非常高,生产过程中时刻采集大量的数据,监控整体设备的实时情况。
- 支持Run To Run使用场景,产品功能强大性与世界级接轨。
- 符合半导体设备安全设计考量,避免客户误操作导致的设备危险性动作问题。
- 数字孪生已经成为工业4.0最强有力的概念之一。通过整个制造和生产过程基于模型、实时、云回路监控、控制和优化的实现,数字孪生有助于达到实时集成制造的组织实施。
可视化配置工具

自动判断数据错误
智能限制的选项,无需学习相关SECS知识
集成Process Job、Control Job管理,Load Port的状态机制集成,SECS/GEM和GEM300相互兼容,支持Run To Run应用场景,独立Load Port、Carrier管理,可用于仅需E84、E87场景。
