半导体由于高度自动化，人工搬运效率太低，同时12寸的晶圆过于沉重、同时整个车间是洁净室需要避免粉尘颗粒，所以半导体采用天车系统（AMHS 、OHT）。该系统实现全自动化运输、上下料、存储等功能。

天车系统是如何实现设备之间的交互和上下料呢，上下料需要进行握手和确认，这就离不开SECS/GEM和E84系统了。

当MES安排搬运车辆（OHT或AGV）到达设备上方时候，设备和搬运车辆的交互就通过E84进行交互。

E84交互流程

① 首先我们了解一下概念

PI/O(Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface)：并行的8输入/输出IO，天车端和设备端的PI/O通过光耦或者无线通讯方式进行通讯。

AMHS（Automated Material Handling System）：自动化物料搬运系统。

AGV（Automated Guided Vehicle）：在晶圆厂（Fab）里，AGV 是地面行驶的自动化搬运设备，属于 AMHS 物料搬运系统。

OHT（Overhead Hoist Transport）：天车搬运系统 / 高架提升传输设备。

E84 Control：基于 SEMI E84 标准 实现的，OHT / AGV 与机台（Load Port）之间的自动化交接控制逻辑，晶圆盒（FOUP）的自动交接握手，互锁保护、状态确认，防止误抓、碰撞、乱放等故障。

② 金南瓜E84 Control实物图

③ E84的IO名称和定义清单

④ 对接过程中的超时名称及定义

⑤ 交互应用场景

⑥ 交互时序图